【日本の技術力】産総研、超分解能リニアエンコーダ校正装置を開発！
- 2011/12/15 06:02:21 投稿
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半導体露光装置や液晶露光装置などにおいて、ナノメートルレベルの位置決めを可能にするために、ピコメートル分解能のリニアエンコーダが開発され、市販されています。これまで、リニアエンコーダに関する標準は整備されておらず、性能評価は各メーカーに任されてきましたが、リニアエンコーダの高性能化が進むにつれて、特にその非線形誤差-を評価する必要性が高まってきました。そこで、分解能１ナノメートル(百万分の一ミリ)以上の超分解能リニアエンコーダを校正することができるシステムを開発しました。（ＹｏｕＴｕｂｅ【ＡＩＳＴ：産総研＝独立行政法人産業技術総合研究所】公式チャンネルの動画解説文より）産総研公式Web ⇒ http://www.aist.go.jp/index_ja.html