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見えないものを見る:X線トポグラフィ(XRT)入門【結晶欠陥を可視化する技術】
結晶の中に潜む「見えない欠陥」を可視化する技術、X線回折トポグラフィ(XRT)について、入門向けに整理した動画です。
XRTは、半導体材料などの結晶内部にある微小な欠陥や歪みを、X線回折を利用して画像として捉える手法です。本動画では、ブラッグの法則、白黒コントラストが生じる仕組み、ラング法や二結晶トポグラフィ、シンクロトロン放射光を用いたその場観察、Si・SiC・酸化ガリウムなどへの応用例を、できるだけ分かりやすく紹介しています。
なお、この動画は専門的な解説資料というより、私自身の思考整理・理解のためのメモ的な内容です。NotebookLMを使用して作成しているため、発音や説明内容に誤り、不正確な表現が含まれる可能性があります。正確な情報や詳しい解説、参考資料については、以下の note.com の記事をご確認ください。
「見えないものを見る:X線トポグラフィ(XRT)入門【結晶欠陥を可視化する技術】」
https://note.com/science_totoron/n/nd18cb1a7f5c6
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