光なまず～゜・_・゜～さんの論文紹介: 金の原子層体積の新しい化合物の組み合わせ。塩化金-トリエチルフォスフィンとトリメチルゲルマニウムDHP
- 2023/08/19 14:25:02 投稿
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https://doi.org/10.1021/acsmaterialsau.2c00075https://pubs.acs.org/doi/10.1021/acsmaterialsau.2c00075Reductive Thermal Atomic Layer Deposition Process for Gold